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微加工技术极大地促进了各类传感器系统的微型化、集成化，使微机电系统（MEMS）功能越来越强，功耗、体积越来越小，而微能源部分却日益成为MEMS微型化设计的瓶颈。该文系统介绍了一种在MEMS应用中有极具发展潜力的能源供应方式——压电微能源。压电微能源可通过收集环境能量来发电。具有长寿命、高能量密度、与MEMS工艺兼容等优点，在微系统中具有广泛的应用前景。