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本文依据实验数据,提出了 CVD 金刚石薄膜生长机理方面的几点看法。认为甲烷的充分离解不利于金刚石生长,生长金刚石的活性物质主要是活性络合物(H…H…CH_3)~*。
CVD人造金刚石薄膜生长机理探讨
【摘 要】
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本文依据实验数据,提出了 CVD 金刚石薄膜生长机理方面的几点看法。认为甲烷的充分离解不利于金刚石生长,生长金刚石的活性物质主要是活性络合物(H…H…CH_3)~*。
【机 构】
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中南工业大学,湖南大学
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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1993年3期
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