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高频光电导测量硅单晶寿命的方法在国内半导体材料行业广泛使用,经过长期的实践积累了丰富的经验。本文试图就方法原理、仪器性能要求、测试结果的处理以及如何提高测量的重复性进行了深入分析。
高频光电导法测量硅晶体载流子寿命的深度分析
【摘 要】
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高频光电导测量硅单晶寿命的方法在国内半导体材料行业广泛使用,经过长期的实践积累了丰富的经验。本文试图就方法原理、仪器性能要求、测试结果的处理以及如何提高测量的重
【机 构】
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广州市昆德科技有限公司
【出 处】
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仪器仪表用户
【发表日期】
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2019年8期
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