瞬态电荷收集法研究a—Si：H／a—SiN：H界面处的电子积累＊

来源 :电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：boluoqb

【摘要】

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本文介绍一种研究a-Si:H/a-SiN:H界面层电子积累特性的新方法,所用样品为Cr/a-SiN:H/a-Si:H/（n+）a-Si:H/AI.测试表明,a-Si:H/a-SiN:H界面是一个电子积累层,其电子面密度为3.2&#

【作者】

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阎宝杰石立峰

【机构】

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南开大学电子系,南开大学电子系天津300071,天津300071,天津300071

【出处】

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电子学报

【发表日期】

：

1993年2期

【关键词】

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电子积累场效应晶体管非晶硅 a-SiN: H/a-Si:H Interface layer Electron accumulation

【基金项目】

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博士基金

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本文介绍一种研究a-Si:H/a-SiN:H界面层电子积累特性的新方法,所用样品为Cr/a-SiN:H/a-Si:H/（n+）a-Si:H/AI.测试表明,a-Si:H/a-SiN:H界面是一个电子积累层,其电子面密度为3.2×10<sup>11</sup>/cm<sup>2</sup>,并且界面层中的电子面密度随外加电压的增加而线性增加。实验结果与理论分析相一致。

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