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针对目前一些微机电安全和解除保险装置中所采用的 W型弹簧离心保险装置,其尺寸较大、结构复杂等缺点,设计了杆状弹簧质量块微机电系统离心保险装置。该装置由成对布置的杆状弹簧质量块构成,杆状弹簧采用镍为材料,准 LIGA技术制造,一端为带卡销的方形质量块,另一端为弯角卡头,挤入基板的缝隙内,形成卡销锁住隔爆滑块的初始状态。在离心力作用下质量块弯曲弹簧释放隔爆滑块。仿真表明,该装置跌落和振动时不会打开,在弹丸转速36 r/s以上解除保险,高转速和跌落时不会损坏。该装置结构简单,占用空间较小,利于加工。