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叙述一种新型微机械伺服加速度计，并与电磁式及变电容式线加速度计原理、性能特点进行比较。微机械伺服加速度计测量上限可达±５００ｍ／ｓ＾２，且能承受５００００ｍ／ｓ＾２以上高冲击。
微机械线加速度计
【摘 要】
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叙述一种新型微机械伺服加速度计，并与电磁式及变电容式线加速度计原理、性能特点进行比较。微机械伺服加速度计测量上限可达±５００ｍ／ｓ＾２，且能承受５００００ｍ／ｓ＾２以上高冲击。
【机 构】
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四川压电与声光技术研究所
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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1996年3期
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