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银经常被应用于制备诱导增透滤光片,在这种宽带滤光片中,银膜的厚度一般在几个纳米,这样使得精确监控银的厚度很困难.提出一种简单易行的改进方法,通过在蒸发源上方加一个调速挡板,结合晶振膜厚仪,可以获得±0.4nm以内控制精度的超薄银膜.
用于镀制超薄银膜的一种有效的监控方法
【摘 要】
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银经常被应用于制备诱导增透滤光片,在这种宽带滤光片中,银膜的厚度一般在几个纳米,这样使得精确监控银的厚度很困难.提出一种简单易行的改进方法,通过在蒸发源上方加一个调
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所
【出 处】
：
光学仪器
【发表日期】
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2005年1期
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