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介绍了声表面波（ＳＡＷ）气体传感器的工作原理及器件制作，提出了１种表面波ＳＯ２传感器，它采用三乙醇胺（ＴＥＡ）覆盖薄膜，分辨率可达７０×１０＾－＾９。还讨论了ＳＡＷ气体感器的稳定性，可靠性，灵敏度及选择性等问题，并给出了有关的实验结果。
新型声表面波气体传感器
【摘 要】
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介绍了声表面波（ＳＡＷ）气体传感器的工作原理及器件制作，提出了１种表面波ＳＯ２传感器，它采用三乙醇胺（ＴＥＡ）覆盖薄膜，分辨率可达７０×１０＾－＾９。还讨论了ＳＡＷ气体感器的稳定性，可靠性，灵敏度及选择性等问题，并给出
【机 构】
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西北工业大学9系,710072
【出 处】
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航空计测技术
【发表日期】
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1995年3期
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