【摘 要】
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围绕着八通道Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜在神光.Ⅲ主机上的应用,分析了瞄准误差对该显微镜成像性能和通道间一致性的影响。通过光线追迹,模拟了X射线显微镜的空间分辨率、像
【机 构】
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同济大学物理科学与工程学院,同济大学教育部先进微结构材料重点实验室
【基金项目】
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国家重点研发计划项目(2017YFA0403300).
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围绕着八通道Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜在神光.Ⅲ主机上的应用,分析了瞄准误差对该显微镜成像性能和通道间一致性的影响。通过光线追迹,模拟了X射线显微镜的空间分辨率、像点间隔和系统效率随视场和物像距的变化。从中心视场到±200μm视场,空间分辨率下降约2.9μm;从中心视场到±150μm视场,系统效率降低了约60%;物距变化量在±200μm范围时,像点间隔变化值约为0.67mm,显微镜系统效率变化约为7%;像距变化量在±20mm范围时,像点间隔变化值
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