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本文主要研究了二氧化硅的干法刻蚀工艺。通过一系列的采用不同实验条件的反应离子刻蚀工艺实验，分析了不同的气体流量、射频功率级压强所对应的刻蚀实验结果。通过实验数据优化了工艺条件。
解析二氧化硅的干法刻蚀工艺
【摘 要】
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本文主要研究了二氧化硅的干法刻蚀工艺。通过一系列的采用不同实验条件的反应离子刻蚀工艺实验，分析了不同的气体流量、射频功率级压强所对应的刻蚀实验结果。通过实验数据优
【机 构】
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中国振华集团永光电子有限公司 贵州贵阳 550000
【出 处】
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大科技
【发表日期】
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2016年27期
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