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本文对湿氮退火改善晶体管表面特性,特别是提高小电流下β进行了论述,并对工艺作了较详细的探讨.
湿氮退火改善晶体管表面特性—提高小电流下β
【摘 要】
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本文对湿氮退火改善晶体管表面特性,特别是提高小电流下β进行了论述,并对工艺作了较详细的探讨.
【机 构】
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无锡无线电工业学校无锡214062
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1993年4期
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