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应用自制的热解丝CVD装置，研究了在金刚石沉积过程中改变甲烷浓度对其形核和生长的影响。结果表明，金刚石形核后，增加甲烷浓度，仍然可以在硅基底表面继续形成新的晶核。但是甲烷浓度由0．6％逐渐增加到1．2％时，所得最终形核密度比一开始就将甲烷浓度设为1．2％的形核密度低。新晶核比先形成的晶核具有较大的长大速度，随后所有晶核尺寸逐渐趋向相同。