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Ⅲ－Ⅴ族化合物半导体的表面钝化是一个长期未能完满的解决的问题，８０年代后期出现的硫钝化技术给钝化研究注入了活力，文章对有关硫化技术使Ⅲ－Ⅴ簇化合物半导体器件性能得到的改善以及所存在的问题进行了综述。
Ⅲ—Ⅴ族化合物半导体器件的硫钝化
【摘 要】
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Ⅲ－Ⅴ族化合物半导体的表面钝化是一个长期未能完满的解决的问题，８０年代后期出现的硫钝化技术给钝化研究注入了活力，文章对有关硫化技术使Ⅲ－Ⅴ簇化合物半导体器件性能得到的改善以
【机 构】
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复旦大学应用表面物理国家重点实验室
【出 处】
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物理
【发表日期】
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1998年6期
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