【摘 要】
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由于碲镉汞薄膜材料中杂质的含量对红外探测器件性能的影响很大,因此对衬底表面加工过程中使用的溴甲醇腐蚀液的纯度提出了非常高的要求。采用改进的亚沸蒸馏装置对高纯溴溶
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由于碲镉汞薄膜材料中杂质的含量对红外探测器件性能的影响很大,因此对衬底表面加工过程中使用的溴甲醇腐蚀液的纯度提出了非常高的要求。采用改进的亚沸蒸馏装置对高纯溴溶液进行了进一步的蒸馏提纯,并根据等离子质谱分析仪(ICP-MS)的杂质含量测试结果对实验条件进行了优化。结果表明,该方法可以进一步降低提纯溴中的杂质含量,进而有利于提升碲镉汞红外焦平面探测器的性能。
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