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期刊论文
微结构表面形貌的测量
微结构表面形貌的测量
来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dhlwcg
【摘 要】
:
总结了现有各种微结构存表面形貌测量方法,概述了这些方法的原理,特性及发展现状,并对各种方法的优越性,存在问题以及应用范围了比较。
【作 者】
:
周明宝
郭履容
【机 构】
:
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川联合大学物理系
【出 处】
:
光学精密工程
【发表日期】
:
1999年3期
【关键词】
:
微结构
表面表貌
测量
衍射光学元件
微细加工
Microstructures
Surface topography
Measurement
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总结了现有各种微结构存表面形貌测量方法,概述了这些方法的原理,特性及发展现状,并对各种方法的优越性,存在问题以及应用范围了比较。
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