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期刊论文
多晶硅铸锭炉中准单晶硅锭的生长
多晶硅铸锭炉中准单晶硅锭的生长
来源 :电子工艺技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lilianmm
【摘 要】
:
介于多晶硅和单晶硅之间的准单晶生长技术逐渐被人们所重视。通过分析单晶硅晶体生长和多晶硅晶体生长的特点,在自主研发的多晶硅铸锭的基础上,介绍了如何通过设备改进和工艺
【作 者】
:
侯炜强
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
:
电子工艺技术
【发表日期】
:
2013年02期
【关键词】
:
单晶硅
多晶硅
准单晶
多晶硅铸锭炉
铸锭工艺
【基金项目】
:
国家863科研攻关项目(项目编号:2006AA05Z407)
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介于多晶硅和单晶硅之间的准单晶生长技术逐渐被人们所重视。通过分析单晶硅晶体生长和多晶硅晶体生长的特点,在自主研发的多晶硅铸锭的基础上,介绍了如何通过设备改进和工艺改进,生长出晶体结构优于多晶硅的准单晶。准单晶制作的电池片光伏转换效率显著高于多晶硅。
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