【摘 要】
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微电子机械系统（MEMS）是指可以批量制造的,集微型结构、微型传感器以及信号处理电路、接口、通信和电源于一体的微型器件。MEMS惯性测量单元是采用MEMS技术研制的加速度计和陀
【机 构】
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91550部队91分队,海军航空工程学院研究生一队
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微电子机械系统（MEMS）是指可以批量制造的,集微型结构、微型传感器以及信号处理电路、接口、通信和电源于一体的微型器件。MEMS惯性测量单元是采用MEMS技术研制的加速度计和陀螺组合器件,它具有体积小、成本低、可靠性高等优点。首先介绍了微机电惯性测量单元（MEMS-I MU）的发展情况,总结了I MU的基本工作原理;随后对I MU中的主要误差源微机电陀螺进行了统计建模;最后以位置和速度信息为观测值将MEMS-I MU与GPS进行组合导航,并进行了仿真实验,由实验结果可以得出结论：MEMS-I MU不能单独
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