离子敏感场效应晶体管传感器研究进展

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:javajnihook
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
近年来,离子敏感场效应晶体管(ISFET)生物传感器因其灵敏度高、速度快、无标记、体积小、成本低等特点而受到了广泛关注,可应用于DNA、蛋白质、酶、细胞、离子等生物识别物的检测.ISFET生物传感器在金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)的基础上发展而来,通过溶液和传感层之间产生电荷转移,形成界面电位,从而改变FET的电流.综述了基于ISFET的生物传感器的工作原理,对器件类型进行了分类,分析了各种器件结构的特性,并列举了最新的应用进展,对未来实现高性能、微型化、可量产的ISFET生物传感器具有重要作用.
其他文献
制作了一种硅接触侧向PIN型Ge波导光探测器,叙述了Si基选择性Ge外延层的制作流程,介绍了Ge波导光控测器的整体结构及制作流程.对该Ge波导光探测器的响应度、暗电流、带宽等参