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金属等离子体浸没注入(MEPIII)技术与金属蒸气真空弧(MEVVA)源注入技术有相同之处，也有各自不同的特点。采用两种方法进行钛离子注入硅，RBS方法分析注入层，并对两种注入技术予以比较。
强流金属离子注入
【摘 要】
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金属等离子体浸没注入(MEPIII)技术与金属蒸气真空弧(MEVVA)源注入技术有相同之处，也有各自不同的特点。采用两种方法进行钛离子注入硅，RBS方法分析注入层，并对两种注入技术予以
【机 构】
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北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室,香港城市大学物理材料系,美国加州大学伯克利国家试验室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2001年1期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)
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