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硅材料作为电子产业的基础,数十年来一直是信息经济发展的实质动力。随着电子器件尺寸的缩小和处理速度的加快,晶体管尺寸已经迫近极限,探索新的物理机制与结构来缩小硅晶体管的线宽也只能延续5～10年,找到替代材料,或开发纳米材料是当前电子技术进一步发展的核心问题。
新型氮化物半导体材料
【摘 要】
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硅材料作为电子产业的基础,数十年来一直是信息经济发展的实质动力。随着电子器件尺寸的缩小和处理速度的加快,晶体管尺寸已经迫近极限,探索新的物理机制与结构来缩小硅晶体
【出 处】
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高科技与产业化
【发表日期】
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2010年11期
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