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本刊讯光刻机投影物镜波像差是影响步进扫描投影光刻机性能的重要指标，直接影响光刻机成像质量、光刻分辨率以及关键尺寸均匀性等关键参数。随着分辨率增强技术的不断进步和发展，光刻机投影物镜的数值孔径（NA）正逐步逼近其制造极限，这就要求波像差检测精度达到2mλ，
光刻机投影物镜波像差检测技术研究新进展
【摘 要】
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本刊讯光刻机投影物镜波像差是影响步进扫描投影光刻机性能的重要指标，直接影响光刻机成像质量、光刻分辨率以及关键尺寸均匀性等关键参数。随着分辨率增强技术的不断进步和发
【出 处】
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光学与光电技术
【发表日期】
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2011年1期
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