步进扫描相关论文
作者在红外光谱仪和红外显微镜的基础上,建立了固|液界面原位显微镜和步进扫描FTIR反射光谱,并成功地应用于纳米结构微电极陈列和......
非光学下一代光刻技术的缓慢进展和国际半导体技术发展规划(ITRS)的加速,使光学光刻肩负着IC产业的重任,进一步向亚波长图形领域进......
在前人工作的基础上成功地建立了步进扫描时间分辨显微FTIR反射光谱体系,取得了一定的成果.本文对此进行了介绍.......
采用电子控制方法实现对星载红外分光计扫描镜步进过渡过程的控制.解决了扫描测量过程中光学通道在其测量周期内视场的变化,保证了......
作者在红外光谱仪和红外显微镜的基础上,建立了固|液界面原位显微镜和步进扫描FTIR反射光谱,并成功地应用于纳米结构微电极陈列和......
以焦平面输出的信噪比为主要性能参数，比较了不同构形焦平面的性能，计算结果表明，若能解决步进扫描结构，凝视步进扫描远优于目前流行的......
窄禁带碲镉汞(Hg1-xzCdxTe)半导体，特别是中长波P型HgCdTe半导体，在中远红外光电器件和焦平面阵列方面具有十分重要的应用价值。目前......
本文首先描述傅立叶变换光谱学和傅立叶变换光谱仪，并详细介绍了步进扫描时间分辨光谱的发展和工作原理。通过拟合步进扫描时间分辨......
为了拓展KrF光刻在小于180nm的SIA设计规则技术阶段的制造能力,需要一种最大0.7NA透镜的远紫外步进扫描曝光系统来提供足够的工艺......
最近宣布的光刻设备就速度、分辨率、对准、光源甚至价格方面都非常接近。ＳＶＧＬ、ＮＩＫＯＮ、ＡＳＭＬ和ＣＡＮＯＮ公司之间设备的主要差别在于ＳＶＧＬ采用了一种带反射折射......
最近 ,ＡＳＭＬ公司推出了其最新开发的ＰＡＳ 5 5 0 0 / 80 0型远紫外步进扫描系统 ,该机具有0 1 2 μｍ分辨能力 ,其数值孔径达 0 80 ,是至今世......
建立傅里叶变换步进扫描时间分辨光电导光谱,并研究太阳电池中与转换效率密切相关的少数载流子寿命.实验选取三种典型的硅太阳电池......
科利登系统有限公司推出了用于器件物理分析和定位工艺性能成品率问题的新型集成电路G10baIscan—I诊断系统，该系统能够鉴别出通常......
为提高光刻机掩模台系统的步进扫描品质,进而提高硅片成品质量,提出一种基于S曲线的轨迹规划。对迭代学习控制进行了研究,并针对普......
利用傅里叶变换测量光谱的方法具有大通量、高信噪比的优势,在红外测试领域具有重要的应用价值。利用步进扫描和时间分辨的方法,可......
本刊讯光刻机投影物镜波像差是影响步进扫描投影光刻机性能的重要指标，直接影响光刻机成像质量、光刻分辨率以及关键尺寸均匀性等关......
结合红外显微镜和步进扫描FTIR光谱仪, 发展了固/液界面电化学原位显微镜红外反射光谱和步进扫描快速时间分辨FTIR反射光谱, 并应......
系统地研究了Sr2FeNbO6的晶体结构,并利用步进扫描的X光数据成功地确定了Sr2FeNbO6的晶体结构,利用Rietveld方法精修出Sr2FeNbO6是......
为降低硅片台在曝光扫描过程中的加减速时间以及提高扫描速度的平稳性,设计了5阶对称S曲线。设定加速度三阶导数为恒定值,通过向上......
本文介绍了基于直线电机、洛仑兹平面电机的 0 1μm光刻机 6坐标高速超精工件台的结构设计 ,其在 30 0mm运动范围内 ,系统的定位......
本文设计了以myRIO为核心控制器、采用“超声波+云台+摄像头”融合检测方式的智能探测小车。通过安装在小车云台上的超声波和摄像......
时间分辨光谱（Ｔｉｍｅ Ｒｅｓｏｌｖｅｄ Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ， ＴＲＳ）是研究物质光物理、光化学性质的基本手段。本文简要介绍了这一领域中较新的两种光谱技术：相调制法测定荧光寿命（Ｐｈａｓｅ－ｓｈｉｆｔ ａｎｄ ......
设计了星载CO2探测频率步进扫描积分路径差分吸收（IPDA）激光雷达,弥补了欧洲航天局ASCOPE项目单波长CO2探测IPDA激光雷达对波长依赖......
采用电子控制方法实现对星载红外分光计扫描镜步进过渡过程的控制.解决了扫描测量过程中光学通道在其测量周期内视场的变化,保证了......
本论文主要包括两部份内容：CCN（（?）2Πi）自由基的化学反应动力学和用步进扫描的时间分辨傅立叶变换光谱仪研究化学反应。 在CCN（（?）2Πi......
滑动聚束SAR系统在实际工作中通过步进扫描的方式来实现天线照射波束在方位向的扫描,然而该扫描方式会在滑动聚束SAR的成像结果中......
介绍了傅里叶变换红外（ Ｆ Ｔ Ｉ Ｒ） 测量及双调制和步进扫描技术的基本原理，讨论了中红外波段半导体材料和器件光谱研究中的一些特殊要求以......
作为微电子产业的核心设备，光刻机在摩尔定律的推动下经历了接近、接触式光刻机，步进重复投影光刻机，步进扫描投影光刻机的发展历程，现......
设计了'H'型六维x-y工件台,利用磁悬浮技术将工件台悬浮在x、y导轨上,消除了导轨的摩擦和磨损;直线电机无接触驱动实现了......
在无线大气激光通信系统中,通信单元双方对对方信号光束的捕获、跟踪和瞄准是系统通信功能实现的前提.而怎样快速、可靠、稳定的捕......
太赫兹时域光谱(THz-TDS)技术作为一种快速发展的新型光谱分析方法在诸多领域备受关注。目前传统THz-TDS检测时间慢,数据采集量低......
光刻机精密运动平台系统是工件台控制系统的核心部分,大体包括晶圆的步进扫描曝光和旋转换台两个部分。对这两部分的系统控制将极......
介绍了一种大面积接近、接触式光刻的新方法,通过光源步进拼接扫描提供一个高均匀度的大面积的照明光源.主要论述了小面积扫描单元......
扫描狭缝是步进扫描光刻机中控制曝光剂量的重要单元,而扫描狭缝产生过大的刀口半影会影响曝光性能。首先,根据步进扫描光刻机照明......
时间分辨光谱（Ｔｉｍｅ Ｒｅｓｏｌｖｅｄ Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ， ＴＲＳ）是研究物质光物理、光化学性质的基本手段。本文简要介绍了这一领域中较新的两种光谱技术：相调制法测定荧光寿命（Ｐｈａｓｅ－ｓｈｉｆｔ ａｎｄ ......
搭建了红外波段的傅里叶变换光致发光谱测试系统，结合FTIR光谱仪的步进扫描功能，在室温条件下对短波和中波碲镉汞材料进行了光致发光......
