【摘 要】
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The structure characteristics of ID precision uhrathin monoerystaUine silicon section cutting machine-tool spindle with force-monitoring bearings functioning as
【机 构】
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DepartmentofMechanicalEngineering,NationalHigh-PurltySilicon&,SilicaneKeyLab
【基金项目】
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ProjectsupportedbytheNationalHigh PuritySilicon&SilicaneKeyLabFoundationoftheNationalNaturalScienceFoundationofChina(NSFC)
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The structure characteristics of ID precision uhrathin monoerystaUine silicon section cutting machine-tool spindle with force-monitoring bearings functioning as force measuring sensors were detected with the new Hilbert theory based signal-wave envelope d
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