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Fab经理需要可以用来检测有害气体的设备,他们倾向于使用那些反应速度快,敏感度高,稳定性强且能够显而易见地呈现出有害气体存在的证据的测试设备。
晶圆厂内有害气体的检测
【摘 要】
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Fab经理需要可以用来检测有害气体的设备,他们倾向于使用那些反应速度快,敏感度高,稳定性强且能够显而易见地呈现出有害气体存在的证据的测试设备。
【机 构】
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HoneywellAnalyticsLincolnshire
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2008年9期
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