【摘 要】
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超精密磁悬浮工作台的磁悬浮部分的设计,将直接影响到系统的动力学性能、空间结构以及热性能等。针对这些性能上的要求,给出了一种三磁极电磁铁及相应的磁悬浮设计,并结合常
【机 构】
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西安交通大学电气工程学院,西安交通大学机械工程学院
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(59975073)
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超精密磁悬浮工作台的磁悬浮部分的设计,将直接影响到系统的动力学性能、空间结构以及热性能等。针对这些性能上的要求,给出了一种三磁极电磁铁及相应的磁悬浮设计,并结合常规双磁极电磁铁的情况,对性能进行了分析和比较。相比之下,该设计可使静态功耗(或发热量)降低50%,具有更合理的空间结构。只需要两个这样的电磁铁便可以实现工作台的磁悬浮(采用双磁极电磁铁则通常需要四个)。最后通过一个应用实例及实验结果,验证了该设计的正确性和有效性。
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