【摘 要】
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提出了一种低功率损耗的新结构IGBT,该新结构的创新点在于其复合耐压层结构,该耐压层包括深扩散形成的n型缓冲层和硼注入形成的透明背发射区两部分,虽然在正常工作条件下,该新结
【机 构】
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北京工业大学电子工程系,中国科学院微电子中心
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目 (批准号 :698360 10 )~~
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提出了一种低功率损耗的新结构IGBT,该新结构的创新点在于其复合耐压层结构,该耐压层包括深扩散形成的n型缓冲层和硼注入形成的透明背发射区两部分,虽然在正常工作条件下,该新结构IGBT工作于穿通状态,但器件仍具有非穿通IGBT(NPT-IGBT)的优良特性,该新结构IGBT具有比NPT-IGBT更薄的芯片厚度,从而可以获得更好的通态压降和关断功耗之间的折衷。实验结果表明:与NPT-IGBT相比较,新结构IGBT的功率损耗降低了40%。
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