【摘 要】
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借助EPMA、XRD、SEM、纳米压痕和划痕仪研究了采用磁控溅射在硬质合金基体上沉积的TiN、Ti（C，N）和（Ti，Al）N涂层的组织结构和力学性能。研究表明，TiN涂层的晶粒形貌为典型的喇叭口结
【机 构】
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湖南工业大学冶金学院,株洲硬质合金集团公司
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借助EPMA、XRD、SEM、纳米压痕和划痕仪研究了采用磁控溅射在硬质合金基体上沉积的TiN、Ti（C，N）和（Ti，Al）N涂层的组织结构和力学性能。研究表明，TiN涂层的晶粒形貌为典型的喇叭口结构，呈（220）生长织构；Ti（C，N）与（Ti，Al）N涂层为平直的柱状晶结构，但表现出不同的取向。Ti（C，N）涂层表现出最高的硬度，TiN涂层则表现出与基体更好的结合力，（Ti，Al）N涂层由于其好的高温稳定性表现出最好的切削性能。
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