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以钛酸四丁酯、无水乙醇、硝酸银为原料，硝酸作为催化抑制剂，采用溶胶一凝胶法获得前躯体，将前躯体煅烧制备了Ag掺杂纳米TiO2粉体和薄膜．采用DTA-TG对前躯体的热分解行为进行研究，利用XRD对制备的粉体TiO2产物的晶型、粒度和粒径分布分析，并利用SEN对薄膜的表面形貌和颗粒粒度进行表征观察．试验结果表明，纳米TiO2产物的晶型为锐钛矿型，其中在350℃煅烧的粉体和薄膜中，晶粒平均粒径为十几纳米左右，粒径分布较窄，且薄膜表面厚度分布均匀．