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提出一种的适合对准标记图像处理的改进亚象素细分定位算法，并提供了完善这种定位算法的缩小检测窗口的方法。
对准标记处理的改进亚象素细分定位算法
【摘 要】
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提出一种的适合对准标记图像处理的改进亚象素细分定位算法，并提供了完善这种定位算法的缩小检测窗口的方法。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工学技术国家重点实验室,中国科学院光电技术研究所微细加工学技
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2001年3期
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