【摘 要】
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GaN基LED芯片具有制备工艺简单、低成本、良率高等优点,提高LED芯片的出光效率已成为国内外专家的研究重点.采用tracepro软件,并基于蒙特卡洛法对ITO表面具有微孔结构的LED芯
【机 构】
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厦门理工学院电气工程及其自动化学院,厦门361024;厦门理工学院光电与通信工程学院,厦门361024;厦门理工学院福建省光电技术与器件重点实验室,厦门 361024;厦门理工学院光电与通信工程学院,
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GaN基LED芯片具有制备工艺简单、低成本、良率高等优点,提高LED芯片的出光效率已成为国内外专家的研究重点.采用tracepro软件,并基于蒙特卡洛法对ITO表面具有微孔结构的LED芯片的光萃取效率进行模拟仿真,相比ITO层没有微孔结构的LED芯片,有微孔结构的LED芯片的光萃取效率有明显的提升.通过光刻技术和湿法蚀刻技术制备ITO厚度为30 nm的LED芯片,在ITO层制作周期微结构.通过光电性检测,在通入20 mA电流时,相比ITO层没有微孔结构的LED芯片,有微孔结构的LED芯片样品的输出光功率分别提高3.9％、6.76％和4.66％,并在此基础上优化了的电极结构,使电流密度分布均匀得到有效提升.
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