微机电系统技术及其应用

来源 :湖南理工学院学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：scorpiokyan

【摘要】

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微机电系统是一个新型的多学科交叉的研究领域,具有广阔的应用前景.在概述微机电系统发展状况的基础上,归结分析了微机电系统在组成结构及特征、材料特性及加工工艺、力学行

【作者】

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【机构】

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湖南理工学院机电系

【出处】

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湖南理工学院学报(自然科学版)

【发表日期】

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2004年4期

【关键词】

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微机电系统是一个新型的多学科交叉的研究领域,具有广阔的应用前景.在概述微机电系统发展状况的基础上,归结分析了微机电系统在组成结构及特征、材料特性及加工工艺、力学行为等方面异于宏观机械的一些新特征,并对微机电系统的主要应用领域进行了讨论.

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