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提出了用于GaAs光阴极粘结的静电键合方法．相比于传统的热粘结方法，该方法温度低（350℃），时间短（5min），在空气中进行．所制得的GaAs光阴极在激活台内的峰值灵敏度为68．8mA／w（峰值波长为830nm）．以此制作的三代微光管的积分灵敏度为1311uA／lm，优于传统的热粘结工艺制作的微光管的灵敏度（～1200uA／lm）．