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研究了Si和Si尖上纳米金刚石场电子发射性质.纳米金刚石是利用热灯丝CVD法合成的,反应气体是CH4、N2和H2的混合物.实验结果表明Si衬底上的纳米金刚石特别是Si尖上的金刚石与多晶金刚石相比,前者极大地改善了场发射性质.场发射电场阈值和电流与金刚石晶粒度密切相关.文中对其结果进行了讨论.
Si和Si尖上纳米金刚石场电子发射性质的研究
【摘 要】
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研究了Si和Si尖上纳米金刚石场电子发射性质.纳米金刚石是利用热灯丝CVD法合成的,反应气体是CH4、N2和H2的混合物.实验结果表明Si衬底上的纳米金刚石特别是Si尖上的金刚石与
【机 构】
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重庆大学应用物理系
【出 处】
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光电子技术
【发表日期】
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2003年4期
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