用有限元法计算飞秒激光双光子成型点弹性模量

来源 :纳米技术与精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liutingkaoyanhao
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采用有限元法对材料为SCR500的飞秒激光双光子成型点力学性能进行建模及仿真计算,得出了不同弹性模量下成型点与探针之间的作用力.进而利用原子力显微镜接触模式,选用无针尖探针,测量了成型点的力学性能,得出了相同位移载荷下成型点与探针之间的作用力.将测量结果和仿真结果进行比较,推算出成型点的弹性模量.分析结果表明。双光子固化成型点的弹性模量大约为宏观材料弹性模量的1/7.这为进一步研究双光子飞秒激光加工微器件的力学性能提供了基础.
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