【摘 要】
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设计了一种面向大流量应用的硅微阀流控芯片,基于电热耦合理论对芯片中的V型电热致动器进行了优化设计。通过构建温度分布的优化模型,对硅微阀流控芯片中V型致动器进行了变截
【机 构】
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清华大学微电子与纳电子学系,盾安人工环境股份有限公司
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设计了一种面向大流量应用的硅微阀流控芯片,基于电热耦合理论对芯片中的V型电热致动器进行了优化设计。通过构建温度分布的优化模型,对硅微阀流控芯片中V型致动器进行了变截面设计,并对优化前后的致动器进行了多物理场模拟。结果表明：与恒定截面V型致动器相比,在致动位移相同的情况下,优化后的致动器所需的最高温升降低了7.14%,且温度和应力分布更为均匀,在保障致动性能的同时提高了热平衡稳定性和结构稳定性。
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