【摘 要】
：
步进扫描光刻机在工作状态下振动特性的好坏对其性能起着重要作用.为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,设计了一种步进扫描光刻机模拟试验运动装置,它能够完全再现步
论文部分内容阅读
步进扫描光刻机在工作状态下振动特性的好坏对其性能起着重要作用.为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,设计了一种步进扫描光刻机模拟试验运动装置,它能够完全再现步进扫描光刻机的运动特点.在此基础上,对试验装置的关键部件进行了振动测试,运用傅里叶变换和现代联合时频分析技术对测得的数据分别进行了分析,结果表明,采用联合时频分析技术更能反映系统的固有性质和振动特性,所得到的参数和结果对指导步进扫描光刻机隔振装置的设计具有一定的实际意义.
其他文献
计算机技术的快速发展,使得人与计算机的交互成为可能,虚拟现实技术就是在这基础上实现了操作者通过头盔、数据手套、键盘、鼠标等工具与计算机间的交互,真正成为虚拟环境中
和其他中学课程一样,体育教学的课程也具备了固定的教学内容以及相应的教学方法。在体育教学的课程当中,具备了广泛活动空间以及独特教学方式的特点。随着新课改的不断深入,
通过分析脱模过程的摩擦力，讨论了模具表面处理工艺与压模质量的关系，给出了降低脱膜过程摩擦力的工艺方法。实验结果表明，用类聚四氟乙烯膜作为脱模剂能大大减小模具表面与聚合
建立了以制作工艺为基础、适合多层薄膜微结构的热应力的计算公式.在Stoney方程相同的条件下,验证了所建模型的准确性.所建模型应用于多层微悬臂梁结构在残余应力作用下的形