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A Novel Approach for System （MEMS） Micro-electro-mechanical Vacuum Packaging
【机 构】
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InstituteofMicroSystems
【出 处】
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国际设备工程与管理：英文版
【发表日期】
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2008年3期
【基金项目】
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This paper is supported by the High-teeh Research and Development Program of China under Grant No. 2005AA404260
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