论文部分内容阅读
论述了热壁低压化学汽相沉积制备氮化硅薄膜的工艺过程。对氮化硅薄膜进行测试分析，用它作介质膜，钝化膜，并作出了多种性能良好的光电器件。
热壁LPCVD氮化硅薄膜的制备及其应用
【摘 要】
：
论述了热壁低压化学汽相沉积制备氮化硅薄膜的工艺过程。对氮化硅薄膜进行测试分析，用它作介质膜，钝化膜，并作出了多种性能良好的光电器件。
【机 构】
：
重庆光电技术研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
1997年3期
其他文献
观看完了㈣这部影片，我印象最深刻的不是威廉的勇猛与正义，而是—个小士兵的懦弱，坚强，让我的心久久无法平静。《长颤静）叙述的是北宋时期，一支欧洲雇佣军与中国神秘军队，在长城上一
随着我国教育事业的不断发展，作为九年义务教育必修课程的初中体育在教学上也进行了不断的改革创新。在初中体育教学中，体育游戏发挥着巨大的作用。体育游戏是指以促进身心健康发展为目的，有鲜明的教育学意义的一种现代游戏方法，它从游戏中发展和派生出来。体育游戏在体育教学中的合理运用不但能够加强对学生身体素质和各项机能的锻炼，还能凭借着其趣味性和娱乐性带动学生进行体育锻炼的兴趣，促使体育教学任务快速、有效地完成
近来发现，高速网络业务具有自相似及长相关特性，分数噪声可描述该类业务。但它仅表现长相关特性，给出了利用ＦＡＲＩＭＡ模型拟合自似网络业务的一整套方法，该模型同时刻画了实际业务的长相关
疼痛是晚期消化道癌症的常见临床症状之一，它加重了对患者的打击和折磨，医护人员的道德责任是减轻患者的痛苦和延长生命，疼痛反应不仅取决于病灶所刺激的部位、强度及频率，而且与
数学思想常常在学习数学知识的同时获得。只有数学知识与数学思想并重，知识和思想方法相互促进，才能使我们更深刻的理解数学，从整体上把握数学，以至于能灵活地应用数学。目前普遍存在学生在课堂上听得懂但遇到问题却不会解决的现象，正是数学知识与思想方法脱节的结果。下面结合实际谈谈我的一些做法： 一、把握本质 掌握原则 史宁中教授认为：“数学发展所依赖的思想在本质上有三个：抽象、推理、模型。”其中抽象是最核
进程迁移是指进程在整个多机环境下的重新定位，它是许多分布式系统共同追求的设计目标。本文深入探讨了进程迁移的设计、实现技术，以及现有系统存在的问题，并探索在当前流行的工
全球最大的半导体设备供应商一美国应用材料近日表示，2006财政年度其在中国的销售将重拾升势，2005年则为下降。
输尿管气压弹道碎石术,其碎石效力较强,并具有微创、经济、安全的优点,已逐渐成为输尿管中下段结石治疗的首选方法.而手术前后的细微护理对预防并发症的发生起着至关重要的作
目的:探讨核基质蛋白22(NMP22)对膀胱移行细胞癌的临床诊断价值.方法:对27例膀胱癌和22例疑似膀胱癌患者尿中NMP22浓度及尿细胞学进行检测,计算诊断敏感性和特异性.结果:膀胱