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采用计算机程控的压控电压源阳极氧化模式研究制备出自对准Nb／Al-AlOx／Nb隧道结的绝缘层Nb2O5／Al2O3／Nb2O5。研究了氧化电压、氧化层的厚度和氧化时间的关系。当阳极氧化电压变化率低于8V／min时，阳极氧化层的厚度基本取决于氧化电压的大小，而与氧化电压变化率无关。我们已采用电压源阳极氧化技术成功制备出超导Nb／Al—AlOx／Nb隧道结。