【摘 要】
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日本政府和 1 0家主要的半导体公司正在讨论实施一个耗资 2 0亿美元的五年国家计划以联合开发下一代 0 .1 μｍ以下半导体生产工艺技术。该计划类似于美国的ＳＥＭＡＴＥＣＨ计划 ,旨在提高日本
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日本政府和 1 0家主要的半导体公司正在讨论实施一个耗资 2 0亿美元的五年国家计划以联合开发下一代 0 .1 μｍ以下半导体生产工艺技术。该计划类似于美国的ＳＥＭＡＴＥＣＨ计划 ,旨在提高日本半导体公司的技术优势 ,保持其下一代半导体产品的竞争力。该计划是由半导体工业研?
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