基于MEMS技术的新型加速度计开发及其在故障诊断中的应用

来源 :振动工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yangqiding

【摘要】

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提出了开发一种新颖电容式MEMS微加速计的思路,使其具有较宽的量程和合适的频响范围,较高的测量精度,能满足汽轮发电机组、风机和离心机等旋转机械的故障诊断技术要求.针对提

【作者】

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杨健贺世正

【出处】

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振动工程学报

【发表日期】

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2004年z1期

【关键词】

：

微机电系统加速度计故障诊断

【基金项目】

：

2003年浙江省科技计划资助项目(编号:2003C31145)

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提出了开发一种新颖电容式MEMS微加速计的思路,使其具有较宽的量程和合适的频响范围,较高的测量精度,能满足汽轮发电机组、风机和离心机等旋转机械的故障诊断技术要求.针对提出的微结构理论模型,给出了基于ANSYS有限元计算模拟结果和优化设计方法.考虑低成本制造因素,给出了硅底材料刻蚀加工的基本工艺方案.探讨了在碟片式分离机智能化故障诊断中的一体化设计及应用.

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