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A IO-MHz SOl-Based Face Shear Square Micromechanical Resonator

来源 :电子科技学刊：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：syhlgs

【摘 要】

：

A 10-MHz face shear(FS) square micromechanical resonator based on silicon-on-insulator(SOI)technology is presented in this paper. In order to examine the improv

【作 者】

：

Tan-Loc Nguyen Jing-Fu Bao Jun 

【机 构】

：

theSchoolofElectronicEngineering

【出 处】

：

电子科技学刊：英文版

【发表日期】

：

2014年1期

【关键词】

：

微机械谐振器 溶胶 人脸 动态电阻 品质因数 硅绝缘体 能量损失 伸展模式 Face shear mode  finite elementsimulation 

【基金项目】

：

This worked was supported by the National Natural Science Foundation of China and the China Academy of Engineering Physics under Grand No. 11176006.

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A 10-MHz face shear(FS) square micromechanical resonator based on silicon-on-insulator(SOI)technology is presented in this paper. In order to examine the improvement of quality factor as well as motional resistance Rx in this structure, the center-stem an

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