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期刊论文
微电阻梁型光开关仿真分析
微电阻梁型光开关仿真分析
来源 :光通信技术 | 被引量 : 1次 | 上传用户:mmllpp000
【摘 要】
:
为解决传统的机械式光开关满足不了光通信技术对开关多端口集成、能耗及响应时间等问题,在金属材料热膨胀的性能基础上,提出一种电阻梁结构微机电系统光开关,并通过理论及多物理场仿真软件对此光开关结构的温度分布和位移特性进行可行性分析,通过分析比较,明确了电热式光开关的温度特性和位移特性。
【作 者】
:
肖杰
陆安江
黄子吉
【机 构】
:
贵州大学大数据与信息工程学院
【出 处】
:
光通信技术
【发表日期】
:
2017年12期
【关键词】
:
微机电系统
光开关
电热式
微电阻梁
MEMS
optical switch
electrothermal type
micro-resistance b
【基金项目】
:
国家国际合作专项(2014DFA00670)资助,贵州省科技重大专项(黔科合重字[2016]3022号)资助.
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为解决传统的机械式光开关满足不了光通信技术对开关多端口集成、能耗及响应时间等问题,在金属材料热膨胀的性能基础上,提出一种电阻梁结构微机电系统光开关,并通过理论及多物理场仿真软件对此光开关结构的温度分布和位移特性进行可行性分析,通过分析比较,明确了电热式光开关的温度特性和位移特性。
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