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应用叠片式柔性铰链和压电陶瓷电动机，实现了一种大行程柔性导轨可以在保持柔性铰链高直线度的前提下，大幅度提高行程，同时还保持柔性铰链微位移工作台无机械爬行现象的优点。导轨应用超声波电动机作为叠片式柔性铰链工作台的驱动器，驱动分辩率可达20nm。
超声波电动机驱动大行程柔性导轨设计
【摘 要】
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应用叠片式柔性铰链和压电陶瓷电动机，实现了一种大行程柔性导轨可以在保持柔性铰链高直线度的前提下，大幅度提高行程，同时还保持柔性铰链微位移工作台无机械爬行现象的优点。导
【机 构】
：
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所1校区718信箱150001
【出 处】
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现代制造工程
【发表日期】
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2004年12期
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