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极性是InSb晶体结构的一种属性，文中研究了这种极性对InSb晶片湿法腐蚀的影响，并对这种极性产生的原因进行了分析。结果表明，对于工艺中常用的CP4腐蚀液，（111）及（211）晶面腐蚀时表现出极性，（111）A面平均腐蚀速率为2．2μm／s，（111）B面的平均腐蚀速率为3．6μm／s；（211）A面的平均腐蚀速率为3μm／s，（211）B面的平均腐蚀速率为4．8μm／s；而（110）晶面在腐蚀时未表现出极性效应，只存在一种腐蚀速率为4μm／s。