汽相沉积薄膜过程的计算机模拟

来源 :福州大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:bibby_514
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利用计算机模拟给出汽相沉积薄膜的过程,计算出不同模型下的薄膜微观结构,并对薄膜微观结构特征进行了讨论。
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