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期刊论文
汽相沉积薄膜过程的计算机模拟
汽相沉积薄膜过程的计算机模拟
来源 :福州大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:bibby_514
【摘 要】
:
利用计算机模拟给出汽相沉积薄膜的过程,计算出不同模型下的薄膜微观结构,并对薄膜微观结构特征进行了讨论。
【作 者】
:
林玉枝
【机 构】
:
福州大学电子科学与应用物理系
【出 处】
:
福州大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
1996年5期
【关键词】
:
汽相沉积
薄膜
计算机模拟
vapor-deposite
thin films
computer simulation
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利用计算机模拟给出汽相沉积薄膜的过程,计算出不同模型下的薄膜微观结构,并对薄膜微观结构特征进行了讨论。
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