【摘 要】
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本文介绍了几种在超大规模集成电路制造中,采用反应离子束刻蚀(RIBE)时所用的离子源。阐述了这些离子源的工作原理、设计参数和一些工艺试验结果,并比较了各种离子源的性能。
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本文介绍了几种在超大规模集成电路制造中,采用反应离子束刻蚀(RIBE)时所用的离子源。阐述了这些离子源的工作原理、设计参数和一些工艺试验结果,并比较了各种离子源的性能。
This article describes several ion sources used for reactive ion beam lithography (RIBE) in the manufacture of very large scale integrated circuits. The working principle, design parameters and some process test results of these ion sources are expounded, and the performance of various ion sources is compared.
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