【摘 要】
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在多晶硅的生产过程中,经常会出现一些温度和电流波动的问题,这些问题的引起因素有很多,这些因素极大地影响了多晶硅的生产,还原过程.例如在一起的多晶硅还原过程中,会按照事
【机 构】
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在多晶硅的生产过程中,经常会出现一些温度和电流波动的问题,这些问题的引起因素有很多,这些因素极大地影响了多晶硅的生产,还原过程.例如在一起的多晶硅还原过程中,会按照事先约定好的温度曲线去调节硅棒上不同时刻的电流值,或用PID调节方式对硅棒进行逐步加热.但是这个方法有很明显的缺点,它还是无法对由于各种不确定因素引起的温度和电路波动进行控制,也就无法保证整个还原反应正常稳定的进行,会导致多晶硅裂棒和倒棒的现象,甚至可能会中途停炉,最后的产量,质量等结果自然也是不令人满意的.
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