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以二氧化硅微球作为研究对象,室温下采用场发射环境扫描电镜（FEI Quanta 200）,选用二次电子（SE）成像进行SEM观察。分别考察镀膜处理、加速电压、束斑变化、扫描速度、工作距离等参数对图像质量的影响。
二氧化硅微球场发射环境扫描电镜形貌测试条件研究
【摘 要】
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以二氧化硅微球作为研究对象,室温下采用场发射环境扫描电镜（FEI Quanta 200）,选用二次电子（SE）成像进行SEM观察。分别考察镀膜处理、加速电压、束斑变化、扫描速度、工作距离等
【机 构】
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药用资源化学与药物分子工程教育部重点实验室
【出 处】
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广西科学院学报
【发表日期】
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2010年3期
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