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电子探针（EPMA）在地质找矿上常用于样品的矿物组成及分布研究。利用电子束照射样品表面时产生的特征X射线,可以在样品表面进行微区的（非破坏性的）图像观察和元素分析。确定分析元素,选择合适标样,在相同的工作条件下测量未知样与标样中各元素的特征X射线强度,进行数据合理性判断,这就是探针矿物定量分析的全过程。